성균관대학교 기계공학부 | 교수소개

관심분야

화학기계연마/세정/오염제어 (클린룸)
2차원소재 합성 및 응용
나노입자 측정 및 제어
대기/실내 공기질 제어
센서 (환경 및 바이오의학 응용)

학력

(박사) University of Minnesota, Mechanical Engineering, 2002
(석사) University of Minnesota, Mechanical Engineering, 1998
(학사) 서울대학교 기계공학과, 1994

약력/경력

2005.03 - 현재: 성균관대학교 기계공학부, 조교수/부교수/교수
2023.01 - 현재: 성균관대학교 공과대학, 학장
2023.01 - 현재: 한국공학한림원, 일반회원
2020.01 - 현재: ISO/TC209 대한민국 대표위원
2019.01 - 2020.12: 성균관대학교 입학처, 처장
2014.03 - 2018.12: 성균관대학교 산학협력단, 산학협력본부장
2011.10 - 2014.09: 삼성디스플레이, 자문위원
2011.02 - 2012.01: 한국과학기술연구원 (KIST), 방문연구원
2002.03 - 2005.02: Seagate Technology, Senior/Staff Engineer
1994.03 - 1996.06: 제26기계화보병사단 보급수송대대, 소대장/대대참모

학술지 논문

(2026) Designable van der Waals Crystal for Artificial Neuronal Cell Mimicking. ADVANCED MATERIALS. 38, 38
(2026) Towards Artificial Intelligence Hardware With 3D Integrated Ferroelectric Transistors. SMALL. 22, 29
(2026) Thermal Expansion-Engineered Ferroelectric Transistor Arrays for Scalable Edge AI Computing. ACS NANO. 20, 5
(2025) Plasma-assisted sulfurization of CoMoO4 nanorods embedded in carbon nanotube sheets for enhanced hydrogen evolution reaction. Functional Composites and Structures. 7, 4
(2025) Cu-Contamination-Free Hybrid Bonding via MoS2 Passivation Layer. NANOMATERIALS. 15, 20
(2025) MXene/PEDOT:PSS-based dual-biomarker impedimetric immunosensor for accurate differentiation of prostate cancer from BPH through urinary detection. BIOSENSORS & BIOELECTRONICS. 289,
(2025) Nanoparticle size distribution measurement scheme using mass-to-charge ratio measurements with Vacuum Ultraviolet irradiation in medium vacuum. JOURNAL OF AEROSOL SCIENCE. 189,
(2025) A numerical study on the optimal placement of two air purifiers for simultaneous operation in a school classroom. International Journal of Air-Conditioning and Refrigeration. 33, 1
(2025) Reversible Thixotropic Rheological Properties of Graphene-Incorporated Epoxy Inks for Self-Standing 3D Printing. ACS Macro Letters. 14, 2
(2024) Optimization of surface filtration to enhance wafer uniformity by removing large particle in ceria slurry. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING. 183,
(2024) Enhanced particle removal ability of two representative nonionic surfactants: A reasonable interpretation based on DFT and coarse-grained molecular dynamics methods. JOURNAL OF MOLECULAR LIQUIDS. 413,
(2024) Investigation of the removal mechanism in amorphous carbon chemical mechanical polishing for achieving an atomic-scale roughness. APPLIED SURFACE SCIENCE. 671,
(2024) An eddy current sensor for end-point detection in chemical mechanical planarization using composition signal filtration and a digital potentiometer. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING. 181,
(2024) Investigating the Impact of Pad Groove Depth Reduction on Process Variation in Oxide Chemical Mechanical Polishing. ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY. 13, 10
(2024) Electron Release via Internal Polarization Fields for Optimal S-H Bonding States. ADVANCED MATERIALS.
(2024) Particle size dependence of nanoclustered ceria abrasives on surface activity and chemical mechanical planarization performance. APPLIED SURFACE SCIENCE. 663,
(2024) Free-standing two-dimensional ferro-ionic memristor. NATURE COMMUNICATIONS. 15, 1
(2024) In Situ Bipolar Doping via Mechanically Controlled Dipole Under Water. ADVANCED MATERIALS INTERFACES. 11, 17
(2024) Investigation of thermal effects in bulk oxide chemical mechanical polishing. PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY. 88,
(2024) Effects of Gas-Dissolved Water for Ceria Nanoparticles on the SiO<sub>2</sub> Film Surface in Post-CMP Cleaning. ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY. 13, 5

특허/프로그램

CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PAD AND CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS INCLUDING THE SAME. 17/026,554. 20231114. 미국
Heterojunction material and method of preparing the same. 17/325,545. 20230822. 미국
Preparing method of polishing composition. 17/330,494. 20230530. 미국
폴리싱 패드 컨디셔닝 시뮬레이션 방법 및 장치(simulation method and apparatus for conditioning polishing pad). 10-2352-9720000. 20220114. 대한민국
입자 포집 장치(Particles Collecting Apparatus). 10-2135-1400000. 20200713. 대한민국
집광 태양 전지를 이용한 수상형 복합 발전 시스템. 10-2016-0136440. 20190312. 대한민국
열전 특성 측정장치. 10-2017-0029250. 20181220. 대한민국
대면적 경면 폴리싱 장비 공정 개발. 10-2017-0055139. 20180221. 대한민국
전이금속 물질을 첨가한 세리아 슬러리 개발. 10-2017-0055071. 20180221. 대한민국
광섬유와 모세관을 이용한 힘센서, 이의 제조방법,이를 포함하는 의료기기. 10-2016-0039080. 20171107. 대한민국
직렬로 배열된 광섬유를 이용한 힘센서, 이의 제조방법, 이를 포함하는 의료기기. 10-2016-0039113. 20171107. 대한민국
2 차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법(PREPARING METHOD OF TWO-DIMENSIONAL TRANSITION METAL DICHALCOGENIDE). 10-1770235-0000. 20170816. 대한민국
플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치(PLASMA STERILIZER AND APPARATUS FOR GENERATING HYDROGEN PEROXIDE VAPOR IN THE STERILIZER). 10-1756550-0000. 20170704. 대한민국
광섬유를 이용한 힘 센서 및 이를 이용한 카테터(FORCE SENSOR USING OPTICAL FIBER AND CATHETHER USING THE SAME). 10-1726024-0000. 20170405. 대한민국
스마트폰을 기반으로 하는 현장용 그래프 수치 분석 어플리케이션 및 그를 이용한 수치 분석방법(In-situ graph analysis application for smart-phone). 10-1712391-0000. 20170227. 대한민국
열전박막의 제백계수 측정장치. 10-2014-0167083. 20161025. 대한민국
열전박막의 수직방향 열전특성 측정센서유닛(Thermal properties measurement sensors for thermoelectric thin film in cross-plane direction). 10-1662713-0000. 20160928. 대한민국
열전박막의 수평 및 수직방향 제백계수 측정 센서 유닛. 10-2014-0167084. 20160928. 대한민국
슬릿이 형성된 공기역학 렌즈. 10-2014-0039889. 20160405. 대한민국
전기장을 이용하는 에어로졸 생성 장치. 10-2014-0113049. 20151109. 대한민국

수상/공훈

대한설비공학회 귀뚜라미 학술상, 2025
대한설비공학회 최우수논문상 장관 표창, 국토교통부, 2024
열공학부문 남헌학술상, 대한기계학회, 2022
대한기계설비단체총연합회 장관표창, 국토교통부, 2022
Asian Academic Award (AAA), 2021
대한설비공학회 최우수논문상 장관 표창, 국토교통부, 2018
공기청정 및 맑은 공기산업 발전 장관 표창, 환경부, 2017
창업보육센터 운영 활성화 도지사 표창, 경기도, 2015
SKKU Young Fellow, 성균관대학교, 2014

학술회의논문

(2022) Application of electrosprayscanning mobility particle sizer for the measurement of mixed abrasive slurry in chemical mechanical planarization process. International Aerosol Conference 2022. 그리스
(2020) 포집부 최적화를 통한 습식 사이클론의 바이오에어로졸 포집효율 향상. 2020년 대한설비공학회 동계학술발표대회. 대한민국
(2020) A Study on Portable Axial Wet Cyclone for The Fungi Collection. Indoo Air 2020. 대한민국
(2020) 광산화를 이용한 CMP 공정용 고연마율 세리아 슬러리 제조 방법. 2020년 한국지식재산교육연구학회. 대한민국
(2020) SMPS를 사용한 CMP공정의 Lumped SiO2 분석. 2020년 한국입자에어로졸학회 학술대회. 대한민국
(2020) Viscosity for Ceria Abrasive Removal in Buffing CMP Process. 31회 세정기술협의회. 대한민국
(2020) CMP 공정에서 결함 유발 입자에 대한 특성 분석 기술 개발. 2020년 반도체디스플레이기술학회 추계학술대회. 대한민국
(2020) 곰팡이 포집용 축류형 습식 사이클론 샘플러 개발 및 성능 평가. 2020년 대한설비공학회 하계학술발표대회. 대한민국
(2020) A Wearable System for Knee Flexion / Extension Monitoring: Design and Assessment. IEEE METROIND4.0&IoT. 이탈리아
(2020) 플라즈마 화학기상증착법을 통한 고수율 이황화 몰리브데늄/ 실리콘 디아오드 합성. 제58회 한국진공학회 동계정기학술대회. 대한민국
(2019) Wafer Scale Synthesis of MoS2-Graphene Heterostructure at Low Temperature and its HER Application. 2019 MRS Fall Meeting & Exhibit. 미국
(2019) Cu CMP에서 서로 다른 크기의 실리카를 이용한 혼합 연마입자 슬러리에 관한 연구. 한국반도체디스플레이기술학회 추계학술대회. 대한민국
(2019) A Numerical Study on Slurry Flow with CMP Pad Grooves. ICPT. 대만
(2019) Study of sub-100 nm Particle Deposition on Silicon Wafer. 한국입자에어로졸학회 학술대회. 대한민국
(2019) Hierarchical nanocomposite of nitrogen-doped molybdenum sulphide and molybdenum oxide for supercapacitor application. 2019 Nano Korea. 대한민국
(2019) Development of a Wearable and Wireless Sensor for Monitoring Knee Posture based on Fiber Bragg Grating and Flexible Polymer. 2019 Medical Measurements & Applications. 튀르키예
(2019) 건물 내부 공기 질 개선 위한 에어로졸 포집 기술 개발. 대한설비공학회 하계학술발표대회. 대한민국
(2019) Development and Evaluation of Tri-Axial Fiber Bragg Grating in a Measurement Module for Catheterization. 2019 IEEE International Workshop on Metrology for Industry 4.0 and IoT. 이탈리아
(2019) In-situ Monitoring Hydrodynamic Pressure Distribution during Chemical Mechanical Polishing. 2019 IEEE International Workshop on Metrology for Industry 4.0 and IoT. 이탈리아
(2019) Prediction of Pad Wear Depending on Structural Factors of Diamond Conditioner. 235th ECS Meeting. 미국

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